产品型号

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、PLC控制面板，4.3″触摸屏，PID控温方式。

2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。

3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。

4、已通过CE认证。

技术参数

1、输入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵）

2、输出功率：1600VDC 50mA（最大电流）

3、石英罩：Ø160mm×120mm

4、样品台：Ø50mm（可选购加热型样品台，最高温度可到500℃；最长溅射时间不可超过5min）

5、真空泵：120L/M旋片式真空泵

6、进气口：装有精密可调针阀，以实现方便的调节进气量

7、靶材：尺寸直径Ø47mm，厚度0.1mm-3mm；可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可溅射氧化物、半导体、一些轻

金属、Al、Zn、C等

产品规格

尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg

可选配件

1、KF25真空接口、卡箍

2、不锈钢波纹管（600mm）

3、旋片式真空泵（120L/M）

4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材

5、加热型样品台