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MS-246小型桌面磁控溅射镀膜机
型号:MS-246
货号:001
品牌:WAYES-VAC
参考价格:268000
交货期:2个月
产地:中国北京
仪器种类:磁控溅射镀膜机


产品介绍

MS-246小型多靶磁控溅射镀膜机


真空腔室:1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接,上开盖和前开门结构;

真空系统:机械泵+分子泵(进口和国产可选);

极限真空:优于8✕10-5Pa(设备空载抽真空24h);

真空抽速:大气~8✕10-4Pa≤30min;

升降基片台:尺寸直径100mm,高度60~120mm可调,旋转0~20r/min可调,可加热至300℃(可选水冷功能),可选配偏压清洗功能;

磁控靶:直径2英寸2只(可升级成3只),兼容直流和射频,可以溅射磁性材料的靶材;

溅射电源:直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选;

质量流量计:10sccm、50sccm质量流量控制器各1套;

膜厚监控仪:可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪;

控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空;

整机尺寸:L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架,预留1个CF35法兰接口。


北京维意真空技术应用有限责任公司
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