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MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机
型号:MS-450
货号:003
品牌:WAYES-VAC
参考价格:268000
交货期:3个月
产地:中国北京
仪器种类:磁控溅射镀膜机


产品介绍

MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机


真空腔室:直径450✕H400mm,1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接,前开门结构;


真空系统:机械泵+分子泵(进口和国产可选);


极限真空:优于5✕10-5Pa(经烘烤除气后);


真空抽速:大气~8✕10-4Pa≤30min;


升降基片台:2~6英寸基片台,靶基距60~120mm连续在线自动可调,旋转0~20r/min可调,可加热至500℃(可选水冷功能),可选配偏压清洗功能;


磁控靶:直径3英寸2~4只(可升级成直径4英寸靶2~3只),兼容直流和射频,可以溅射磁性材料的靶材;


溅射电源:直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选;


质量流量计:2~3路工艺气体,可根据工艺要求增加;


膜厚监控仪:可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪;


控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空。


公司有全自动数控加工中心、数控车床等设备,主要产品:非标铝合金真空腔体,
镀膜机腔体,不锈钢真空腔体加工,真空炉体,PVD系列镀膜机腔体,腔体配套真空管道等系列真空产品,
可加工真空腔体连续线,专业定做非标高真空,超高真空腔体。我公司采用三维建模软件,
按照实际比例建立3d仿真模型,根据客户文字、语言草图等需求表述,专业设计出适合客户所需产品方案
(在方案定稿之前所有设计不收取任何费用)。

常见真空腔体技术性能:

材质:不锈钢、铝合金等

腔体适用温度范围:-190℃~+1500℃(水冷)

密封方式:氟胶O型圈或金属无氧铜圈

出厂检测事项:

1、真空漏率检测1.3*10-10mbar*l/s

2、水冷水压检测:8公斤24小时无泄漏检测.

3、内外表面处理:拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等.

北京维意真空技术应用有限责任公司
手机: 15611171559
电话: 010-67947887
传真: 010-67947887
联系人: 于磊
邮编: 100042
地址: 旧桥路25号院东亚五环国际8号楼502室
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