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SEV-400高真空手套箱金属有机蒸发镀膜机
型号:SEV-400
品牌:WAYES-VAC
参考价格:480000
交货期:3个月
产地:中国北京
仪器种类:蒸发镀膜机


产品介绍

SEV-400手套箱金属有机蒸发镀膜机

真空腔室:采用立式方形结构,前门为水平滑开式,位于手套箱体内部,前开门便于蒸发材料和样片在保护环境下装卸,后开门便于真空室的清理维护(后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离),整机位于手套箱体下面,节约占地面积;

真空系统:国产分子泵作为主抽泵,真空极限高达2.0✕10-5Pa,另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵,真空极限高达3.0✕10-6Pa;

真空抽速:大气~5✕10-4Pa≤30min(手套箱环境中);

基片台:最大120mm基片/15~25mmITO/FTO玻璃25片,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板,基片台公转,转速0~20r/min可调,衬底可选择加热(室温~300℃可调可控)或水冷,基片台可选升降,源基距最大350mm;

蒸发源及电源:4~6组欧美技术金属或有机束源炉蒸发源可选,多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜,功能强大,性能稳定;真空专业蒸发电源,恒流/恒功率控制,电流、功率可以预先设置,可实现一键启动和停止的自动控制功能;

膜厚监控仪:采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;

控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空。


北京维意真空技术应用有限责任公司
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