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Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

四(二甲基氨基)铪 (Ⅳ)

品牌
Sigma-Aldrich
CAS
19782-68-4
货号
666610
规格纯度
packaged for use in deposition systems
参考价格
25165.7 *本价格含增值税费
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数量
-+
产品介绍:

产品说明

一般描述

铪烷基酰胺是制备平滑非晶氧化铪薄膜的一种简便有效的原子层沉积前驱体。

应用

用作氧化铪纳米层压板的原子层沉积的前体,其用作半导体器件中的氧化硅的替换物。
为沉积系统包装的前体

包装

25 g in stainless steel cylinder

基本信息

线性分子式[(CH3)2N]4Hf
分子量354.79
MDL编号MFCD01862473
PubChem化学物质编号24884811
NACRESNA.23

产品性质

质量水平100
测定≥99.99% (trace metals analysis)
形式low-melting solid
reaction suitabilitycore: hafnium
mp26-29 ℃ (lit.)
密度1.098 g/mL at 25 ℃
SMILES stringCN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
InChI keyZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

安全信息

象形图GHS02GHS05
警示用语:Danger
危险声明H228 - H261 - H314
预防措施声明P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P370 + P378 - P402 + P404
危险分类Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react. 2
补充剂危害EUH014
储存分类代码4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water
WGKWGK 3
闪点(F)109.4 °F - closed cup
闪点(C)43 ℃ - closed cup
个人防护装备Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P1 (EN143) respirator filter, type P3 (EN 143) respirator cartridges

Sigma-Aldrich

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