ZGS型微波滑轨式管式炉是一款微波快速升温又可快速降温的真空气氛微波管式炉。具有真空、可控气氛及高温的实验环境。适用于碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构可控生长、陶瓷电容气氛烧结、氧化石墨烯还原膨化等实验。
产品型号
ZGS型微波滑轨式管式炉
主要特点
1、炉体与真空系统整体集成设计，结构简洁，安全可靠。
2、炉管可移动，可实现更快速升温、冷却。
3、采用工业级微波源，微波输出功率无级可调，确保设备连续稳定长时间运行。
4、采用预抽真空方式置换气体，可大幅度节省置换气体时间。
5、特制保温结构，节能高效。
6、大幅度提高实验效率，物料加热速度快，均匀性好，烧结材料晶粒小，性能好。
技术参数
型号
ZGS1512
ZGS3012
电压
220±10V 50Hz
380±10V 50Hz
额定功率
4KW
5KW
微波输出功率
0.01～1.40kW连续可调
0.01～2.80kW连续可调
微波频率
2.45GHz
工作温度
≤1200℃
加热空间
Ф40×130mm(直径×宽)
Ф60×130mm(直径×宽)
测温方式及范围
热电偶
测温范围及精度
0～1300℃；读数±0.1%
控制方式
PLC（品牌：三菱）;触摸屏（品牌：施耐德）
控制程序
40段可设工艺参数，带数据存储，导出实验数据；可手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示；动态数据屏保
静态极限真空度
≤100Pa
气氛要求
快速预抽真空，可充氧化性气体、惰性气体、弱还原性气体等
防微波泄漏
微波泄露水平＜0.05mW/cm2
磁控管报警
超温报警、过流报警
炉门防护报警
炉门关紧保护开关
主体部分
约530×1000×1200mm(长×宽×高)
台架
约900×1200×1500mm(长×宽×高)
