产品型号

全自动椭偏检测机台

主要特点

1、支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术

2、支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告

3、支持多椭偏方案，多组合集成

4、支持测头模块以及样件机台定制化

技术参数

自动化程度

可变/固定角

应用定位

高阶高精度型

高精度型

单次测量时间

0.5-5s

分析光谱

380-1000nm（支持扩展至193-2500nm）

Mapping行程

支持100x100mm行程扩展

支持样件尺寸

支持200mm样件