PMS椭偏在线监测装备

型号:	PMS
产地:	广东
仪器产地:	国产椭偏仪

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产品介绍

椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。

产品型号	PMS 椭偏在线监测装备
主要特点	1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告 2、支持最大193-2500nm全波段分析测量 3、支持多椭偏方案，多组合集成 4、支持测头模块以及样件机台定制化
技术参数	测头规格	穆勒矩阵椭偏测头	光谱椭偏测头	反射膜厚测头
	自动化程度	可变/固定角+ mapping	可变/固定角+ mapping	垂直角+ mapping
	应用定位	高阶高精度型	高精度型	通用型
	单次测量时间	0.5-5s		小于1s
	分析光谱	380-1000m(支持扩展至193-2500nm)		380-1100nm
	Mapping行程	支持行程定制化
	支持样件尺寸	安需定制化

广东科晶智达科技有限公司
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