产品简介：磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备，适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜（铜，铝等）功能性薄膜，设备采用先进的磁控溅射镀膜技术，配备直流、射频磁控溅射系统，适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。
技术参数
卷膜条件
镀膜材料：PET 和无纺布
适用制膜：软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。
基材厚度：125～300μm
有效镀膜宽幅：≤800 mm
最大卷绕直径：Φ400 mm
卷绕芯轴内径：4 寸
基材卷绕速度：1～2 m/min
基材卷绕张力：30 ～ 200 N
张力系统：交流伺服
溅镀方式：单面
真空条件
极限真空（空载、洁净）：8×10-4Pa
恢复真空时间（空载、清洁）：105Pa ～ 5×10-3Pa≤60 min
系统真空漏率：1.0×10-10 Pa.m3/s
磁控溅射阴极数量：3 个
膜均匀性偏差：≤±10%
