PCE-6小型等离子清洗机

产品型号

PCE-6

主要特点

1、通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。

2、时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。

3、设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体，进气接口为6mm卡套接口。

4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

技术参数

1、电源：AC220V 50/60Hz

2、输出功率：7.2W、10.2W、29.6W

3、真空泵功率：<500W

4、总功率：<600W

5、射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节

6、等离子腔体：高纯石英腔体Ø160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Ø45mm的观察窗

7、真空泵：240L/min，直连式双旋真空泵

8、极限真空度：50mtorr

9、通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N₂、Ar、H₂、O₂、Air和混合气体等（根据材料性质选定）

清洗及蚀刻

产品规格

尺寸：400mm×300mm×300mm，重量：10.2kg

可选配件

1、2"-6"石英舟（盛放基片）

2、2-4通道质子或浮子混气系统