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(t-Butylimido)tris(ethylmethylamino)tantalum(V)

(叔丁胺基)三(乙基甲氨基)钽

品牌
Strem
CAS
511292-99-2
货号
73-0735
规格纯度
(99.99%-Ta)
参考价格
900 *本价格含增值税费
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数量
-+
产品介绍:

Technical Notes:.

1.Used for the synthesis of tantalum amido-, imido-, guanidinato precursors for AL D/CVD precursors 3-5.

2.ALD/CVD precursor forTa thin film deposition.

References:

1.Dalton Trans. 2005 3051

2.J .Chem Eng Data 2014 59 4179.

3.Dalton Trans 2006 121.

4.Eur J Inorg. Chem. 2006 4665

5.Chem Vap. Deposition 2007 13 77.

6.Appl Phys. Lett 2007 90 102101 .

7.Appl Phys Lett 2007. 90112912.

8.Nano. Lett 201616 276.

9.Sustainable Energy Fuels, 20204 2293.

Strem

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