产品介绍：
产品说明
一般描述
钨腐蚀剂是一种基于氢氧化钾和铁氰化钾溶液的混合物，可通过将基底浸入蚀刻溶液中而有助于将钨和铝等材料进行去除。
应用
半导体和微电子技术中钨薄膜金属化的选择性蚀刻剂。蚀刻剂是缓冲式、温和碱性铁氰化物配方，提供高分辨率图案，具有最小切割和光刻胶兼容性。蚀刻剂可直接使用(不需要稀释)。可控、均匀蚀刻是通过浸渍或喷雾蚀刻技术实现的。蚀刻能力(速率在∼70%时下降)为64 g/加仑。建议工作温度：20-80 ℃(30-40 ℃最常用)
包装
500 mL in poly bottle
制备说明
- 20℃ = 30 Å/秒
- 30℃ = 140 Å/秒 20℃ = 80 Å/秒
- 60℃ = 250 Å/秒
基本信息
| MDL编号 | MFCD08705365 |
| NACRES | NA.23 |
产品性质
| 质量水平 | 100 |
安全信息
| 象形图 |  |
| 警示用语： | Danger |
| 危险声明 | H290 - H314 - H412 |
| 预防措施声明 | P234 - P273 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338 |
| 危险分类 | Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A |
| 储存分类代码 | 8B - Non-combustible, corrosive hazardous materials |
| WGK | WGK 2 |
| 闪点(F) | Not applicable |
| 闪点(C) | Not applicable |
| 个人防护装备 | Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter |
