产品介绍：
产品说明
包装
500 mL in glass bottle
应用
用于氮化硅 (Si3N4)、氮化镓 (GaN) 或氧化铝 (Al2O3) 的快速可控蚀刻。
特点和优势
180℃ 下的蚀刻速率：
氧化铝 120Å/min
氮化硅 125Å/min
氮化镓 80Å/min
二氧化硅 1Å/min
硅 1Å/min
基本信息
| MDL编号 | MFCD08705343 |
| NACRES | NA.23 |
产品性质
| 质量水平 | 100 |
安全信息
| 象形图 |   |
| 警示用语： | Danger |
| 危险声明 | H290 - H302 - H314 |
| 预防措施声明 | P234 - P270 - P280 - P301 + P312 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338 |
| 危险分类 | Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1B |
| 储存分类代码 | 8B - Non-combustible, corrosive hazardous materials |
| WGK | WGK 1 |
| 闪点(F) | Not applicable |
| 闪点(C) | Not applicable |
| 个人防护装备 | Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter |
