产品介绍：
产品说明
一般描述
基材原子数：73 钽
包装
5 g in glass bottle
特点和优势
氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时，还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。
基本信息
| 线性分子式 | Ta(N(CH3)2)5 |
| 分子量 | 401.33 |
| MDL编号 | MFCD01631286 |
| PubChem化学物质编号 | 24873088 |
| NACRES | NA.23 |
产品性质
| 质量水平 | 100 |
| 测定 | 99.99% |
| 形式 | solid |
| reaction suitability | core: tantalum reagent type: catalyst |
| mp | 100 ℃ (dec.) (lit.) |
| SMILES string | CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C |
| InChI | 1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5 |
| InChI key | VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N |
安全信息
| 象形图 |   |
| 警示用语： | Danger |
| 危险声明 | H228 - H260 - H314 |
| 预防措施声明 | P210 - P231 + P232 - P260 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338 |
| 危险分类 | Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react. 1 |
| 补充剂危害 | EUH014 |
| 储存分类代码 | 4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water |
| WGK | WGK 3 |
| 闪点(F) | Not applicable |
| 闪点(C) | Not applicable |
| 个人防护装备 | Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P1 (EN143) respirator filter, type P3 (EN 143) respirator cartridges |
