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Hexachlorodisilane

六氯乙硅烷

品牌
Sigma-Aldrich
CAS
13465-77-5
货号
205184
包装型号
规格纯度
96%
参考价格
1393.71 *本价格含增值税费
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数量
-+
产品介绍:

产品说明

一般描述

六氯乙硅烷(HCDS)是一种氯硅烷,可用作生产乙硅烷的前体。它是一种用于生产硅膜和氮化硅基膜的脱氧剂。

应用

HCDS可用于通过化学气相沉积(CVD)制备二氧化硅气凝胶,其有望用作封装剂和绝热体。它也可用于通过CVD合成1,1,1,2,2,2-六氨基乙硅烷,其可形成微电子应用的硅基薄膜。
HCDS可用作还原剂。它可以通过化学气相沉积(CVD)技术与氨结合形成氮化硅。

包装

5, 25 g in ampule

基本信息

线性分子式(SiCl3)2
分子量268.89
EC 号236-704-1
MDL编号MFCD00011599
PubChem化学物质编号24852311
NACRESNA.23

产品性质

测定96%
形式liquid
折射率n20/D 1.475 (lit.)
bp144-145.5 ℃ (lit.)
密度1.562 g/mL at 25 ℃ (lit.)
SMILES stringCl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl
InChI1S/Cl6Si2/c1-7(2,3)8(4,5)6
InChI keyLXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N

安全信息

象形图GHS05
警示用语:Danger
危险声明H314
预防措施声明P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338 - P363 - P405
危险分类Skin Corr. 1B
补充剂危害EUH014
储存分类代码8A - Combustible, corrosive hazardous materials
WGKWGK 3
闪点(F)Not applicable
闪点(C)Not applicable
个人防护装备Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter

Sigma-Aldrich

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