位置:首页 > 品牌 > Sigma-Aldrich >

Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 with surfactant

缓冲HF

品牌
Sigma-Aldrich
货号
901623
包装型号
规格纯度
参考价格
1125.37 *本价格含增值税费
促销
数量
-+
产品介绍:

产品说明

一般描述

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)薄膜。它是一种缓冲剂的混合物,例如氟化铵(NH4F)和氢氟酸(HF)。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快,无法实现良好的工艺控制,并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

应用

含表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)6:1可用于去除基于AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管的氧化物,用于栅极光刻。也可用于缓冲氧化物蚀刻剂方法,制造微生物芯片。

基本信息

NACRESNA.23

产品性质

形式liquid

安全信息

象形图GHS05GHS06
警示用语:Danger
危险声明H300 + H310 + H330 - H314
预防措施声明P260 - P270 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
危险分类Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Inhalation - Acute Tox. 2 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A
储存分类代码6.1B - Non-combustible, acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
WGKWGK 2
闪点(F)Not applicable
闪点(C)Not applicable

Sigma-Aldrich

推荐产品
| 首页 | 联系我们 | 会员服务 | 广告服务 | 友情链接 |
版权所有 CopyRight © 2008-2024 粤ICP备08119708号