产品型号

PCE-3

主要特点

1、使用可调射频电源， 可以设置低、中、高功率。

2、桌上型设备，结构紧凑、操作安全、环境友好、低成本。

技术参数

1、输入电压：110V/220V、50Hz/60Hz （请提前选定），小于100W

2、射频输出频率：13.56MHz

3、等离子直流电源：低功率设定—680V，10mA，6.8W；中功率设定—700V，15mA，10.5W；

高功率设定—720V，25mA，18W

4、等离子腔室：Ø75mm×165mm，耐热玻璃，前盖可拆卸

5、通入气体：可通入多种气体，如N₂、Ar、空气、混合气体等，主要根据处理材料性质所定

6、真空泵和阀的要求：>160L/min，极限压力200mtorr（0.27mbar），可选择数字真空表，针阀控制气体流

量，采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气

清洗及蚀刻

产品规格

尺寸：200mm×250mm×210mm；重量：8kg（不含泵）

注意事项

不能使用可燃性气体

可选配件

本司研发的电阻真空计

以Pirani电阻规在不同真空环境下提现的热传导性为原理而研发的一款低真空测量仪器，特别适应于从常压到0.1 Pa非腐蚀性气体环境的真空测量。