产品型号

1200℃五温区开启式管式炉OTF-1200X-V

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，最大成都的减少能量的损失。内 炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。

2、采用五个独立的PID控制器，可以设置30段升降温程序。

3、温区采用K型热电偶，并设有断偶和过热保护。

4、可以选择控温软件，将温控程序和温度曲线导入到计算机中。

5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：AC 220V 50Hz/60Hz 8KW（需40A的空气开关）

2、石英管：外径Ø50mm，内径Ø44mm，长1400mm

外径Ø60mm，内径Ø54mm，长1400mm

外径Ø80mm，内径Ø74mm，长1400mm

外径Ø100mm，内径Ø94mm，长1400mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区域：五温区各152mm

5、工作温度：最高1200℃，连续工作1100℃

6、最大升降温速率：20℃/min

7、控温精度：±1℃

产品规格

尺寸：1100mm×450mm×670mm；重量：85kg

标准配件

1

石英管

1根

2

管堵

4个

3

真空法兰

1套

4

热电偶

1根

5

坩埚钳

1把

6

高温手套

1双

可选配件

1、高温炉控温软件及软件接口模块

2、石英管堵

3、氧化铝坩埚

4、石英坩埚

5、KF25转换接头

6、卡套接头

7、数字真空计

8、供气混气系统

9、高真空系统

10、双级旋片式真空泵