产品型号

SKCC-ZZB-X（高真空磁控溅射自旋转靶头）

产品规格

2寸，SKCC-ZZB-2

3寸，SKCC-ZZB-3

4寸，SKCC-ZZB-4

5寸，SKCC-ZZB-5

6寸，SKCC-ZZB-6

7寸，SKCC-ZZB-7

主要特点

1、转靶带挡板（可电动控制，可手动控制）；

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布；

3、转靶转速5～60转/分可调；

4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。

5、安装采用标准真空接头，便于操作。

6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。

配套电源

1、直流DC；2、射频RF