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F1012微流量传感器
型号:F1012


产品介绍

F1012微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测,具有很好的精度与重复性。内置有温度传感器,每只都进行专有的温度补偿校准;同时具有线性模拟电压输出,方便使用。

产品优势

新一代MEMS传感器芯片技术;精度高,响应速度快,重复性好;可精准测量极小流量;经过完全校准和温度补偿;

产品应用

工业过程控制;空气和环境保护;便携式呼吸机

技术指标

产品型号

F1012

量程①

50、100、200、500、1000、1200、2000sccm②

最小

典型值

最大

单位

满量程输出

4.90

5.00

5.10

V

零流量输出

0.96

1.00

1.04

V

输出阻抗

-

200

-

Ω

工作电压

7.0

10.0

14.0

V

工作电流

15

25

30

MA

精度

-

±1.5

±2.5

%F.S

重复性

-

±0.3

±0.5

%F.S

年漂移③

-

±0.1

±0.5

%F.S

耐压

-

-

200

kPa

反应时间

45

50

55

ms

工作温度④

-25

-

65

储存温度

-40

-

90

注:

①可提供50-2000sccm之间任意量程。

②sccm:standard-state cubic centimeter per minute,意义为标况毫升每分钟,标况规定为:气体温度0℃ ;气压101.325 kPa;

③测试条件为室温、清洁空气。

④温度补偿实校范围为0℃-50℃,超过此范围温度补偿效果不能保证。

汉威科技集团股份有限公司
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