SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪
产品介绍
性能特点： ·操作简单，通常只需两键（开始和停止） ·德国多口分子泵 ·自动抽空时间和压力可设定 ·双灯丝自动切换 ·自动调零 自动校准 ·自动量程切换 ·铱带离子源，使用寿命更长 技术参数： | 最小可检漏率(真空模式) | 5×10-13 Pa·m3/s | | 最小可检漏率(吸枪模式) | 1×10-8 Pa·m3/s | | 检漏口压力 | Gross:1500Pa, Fine:200pa, Ultra:40pa | | 粗抽能力 | 10 m3 /h | | 氦气抽速(Gross模式) | 8 L/s | | 氦气抽速(Fine模式) | 7 L/s | | 氦气抽速(Ultra模式) | 2.5 L/s | | 检漏口规格 | DN 25 ISO-KF | | 启动时间 | ≤3min | | 接口 | RS-232/485 USB×2 | | 输入/输出接口 | Digital and Analog I/O, Relays | | 尺寸 | 645 × 678 × 965 mm | | 重量 | 75kg | | 电压 | 220V±10%, 50/60 Hz | | 最大功率 | 1000 W | | 语言 | Chinese, English | | 温度 | 10–40 ℃ |
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